DZ/T 0101.12-1994
现行
JJF 1351-2012
现行
国家计量技术规范JJF
JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范
JJF 1351-2012 Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes
基本信息
标准编号:
JJF 1351-2012
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
-
发布日期:
2012-06-18
实施日期:
2012-09-18
发布单位/组织:
国家质量监督检验检疫总局
归口单位:
全国几何量长度计量技术委员会
页数:
20 页
适用范围
本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。
扫描探针显微镜根据其设计原理不同，校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务，如对溯源要求较高的测量，不在本校准规范的适用范围。
研制信息
起草单位:
中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、上海计量测试技术研究院、贵州计量测试院
起草人:
朱振宇、任冬梅、傅云霞、李源、吕小洁