GB/T 3143-1982
现行
GB/T 43661-2024
现行
国家标准
GB/T 43661-2024 表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和SCM)空间分辨的定义和校准
GB/T 43661-2024 Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes(ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
基本信息
标准编号:
GB/T 43661-2024
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
基础标准与通用方法
国际标准分类名称:
化学分析
发布日期:
2024-03-15
实施日期:
2024-10-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38)
页数:
16 页
适用范围
本文件描述了用于测量扫描电容显微镜（scanning capacitance microscope，SCM）或扫描扩展电阻显微镜（scanning spreading resistance microscope，SSRM）空间（横向）分辨的方法，该方法涉及使用锐边的器件。这2种显微镜广泛应用于半导体器件的载流子分布成像和其他电学特性的测量。
研制信息
起草单位:
中山大学、广东工业大学、暨南大学
起草人:
龚力、杨慕紫、陈瑜、张浩、谢伟广、谢方艳、丁喜冬、陈建
引用标准
ISO 18115-2
采用标准
ISO 13083:2015