GB/T 3143-1982
现行
GB/T 28632-2012
现行
国家标准
GB/T 28632-2012 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定
GB/T 28632-2012 Surface chemical analysis—Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy—Determination of lateral resolution
基本信息
标准编号:
GB/T 28632-2012
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
基础标准与通用方法
国际标准分类名称:
化学分析
发布日期:
2012-07-31
实施日期:
2013-02-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
页数:
22 页
适用范围
本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1 μm的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20 nm，小于1 μm的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50 nm的仪器。
附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。
研制信息
起草单位:
上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心
起草人:
徐建、陆敏、吴立敏、朱丽娜、辛立辉、何丹农、张冰
引用标准
采用标准
ISO 18516:2006