GB/T 1663-2001
现行
GB/T 43748-2024
现行
国家标准
GB/T 43748-2024 微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法
GB/T 43748-2024 Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips
基本信息
标准编号:
GB/T 43748-2024
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子光学与其他物理光学仪器
国际标准分类名称:
物理化学分析方法
发布日期:
2024-03-15
实施日期:
2024-10-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
页数:
16 页
适用范围
本文件规定了用透射电子显微镜/扫描透射电子显微镜(TEM/STEM)测定集成电路芯片中功能薄膜层厚度的方法。本文件适用于测定几个纳米以上厚度的集成电路芯片中功能薄膜层。
研制信息
起草单位:
广东省科学院工业分析检测中心、南方科技大学、胜科纳米(苏州)股份有限公司
起草人:
伍超群、于洪宇、乔明胜、陈文龙、周鹏、邱杨、黄晋华、汪青、程鑫
引用标准
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