GB/T 6060.2-1985
被代替
DB13/T 5865-2023
现行
河北省地方标准
DB13/T 5865-2023 晶圆表面颗粒度检查仪校准方法
DB13/T 5865-2023 The calibration method for surface particle inspection instrument on wafers
基本信息
标准编号:
DB13/T 5865-2023
标准类型:
地方标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
计量
国际标准分类名称:
表面特征
发布日期:
2023-10-25
实施日期:
2023-11-25
发布单位/组织:
河北省市场监督管理局
研制信息
起草单位:
起草人: