GB/T 13826-1992
被代替
GB/T 44687-2024
现行
国家标准
GB/T 44687-2024 超硬磨料制品 半导体晶圆精密磨削用砂轮
GB/T 44687-2024 Superabrasive products—Precision grinding wheels for semiconductor wafers
价格:
$ 84
基本信息
标准编号:
GB/T 44687-2024
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
磨料与磨具
国际标准分类名称:
磨料磨具
发布日期:
2024-09-29
实施日期:
2025-04-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国磨料磨具标准化技术委员会(SAC/TC 139)
页数:
28 页
适用范围
本文件规定了半导体晶圆精密磨削用砂轮的产品分类、产品标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于半导体晶圆边缘倒角精密磨削和端面减薄精密磨削用金属结合剂、树脂结合剂和陶瓷结合剂及其复合结合剂金刚石砂轮。
研制信息
起草单位:
郑州磨料磨具磨削研究所有限公司、江苏赛扬精工科技有限责任公司、华侨大学、北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司、江苏三晶半导体材料有限公司、青岛高测科技股份有限公司、广东奔朗新材料股份有限公司
起草人:
包华、赵延军、陈卫东、黄国钦、刘一波、邹余耀、张秀涛、陶洪亮、谷春青、韩欣、丁玉龙、李国伟、牛俊凯、张良、叶腾飞、王礼华、朱亮、杨松彬、尹玉龙
引用标准
GB/T 1800.2-2020 产品几何技术规范(GPS) 线性尺寸公差ISO代号体系 第2部分：标准公差带代号和孔、轴的极限偏差表
GB/T 2493-1995 砂轮的回转试验方法
GB/T 2493-2013 砂轮的回转试验方法
GB/T 2493-2023 磨具回转强度试验方法
GB/T 9239.1-2006 机械振动 恒态(刚性)转子平衡品质要求 第1部分：规范与平衡允差的检验
GB/T 16458-2009 磨料磨具术语
GB/T 16458-2021 磨料磨具术语
GB/T 16458.1-1996 磨料磨具术语 第1部分：磨料术语
GB/T 16458.2-1996 磨料磨具术语 第2部分：磨具术语
GB/T 35479-2017 超硬磨料制品 金刚石或立方氮化硼磨具 形状总览和标记
JB/T 7425-2023 超硬磨料制品 金刚石或立方氮化硼磨具 技术规范
JB/T 7425-2012 超硬磨料制品 金刚石或立方氮化硼磨具技术条件
JB/T 7425-1994 超硬磨具 技术条件