T/NMSP T/NMSP.MZB04.04-2024
现行
T/CHBAS 32-2023
现行
团体标准
T/CHBAS 32-2023 集成电路用混合气体 3%氘/氮
T/CHBAS 32-2023 Mixed gas for integrated circuits containing 3% deuterium/nitrogen
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CHBAS 32-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
其他
发布日期:
2023-07-27
实施日期:
2023-07-27
归口单位:
河北省标准化协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路用混合气体3%氘/氮混合气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全的要求。本文件适用于集成电路用混合气体3%氘/氮（以下简称3%氘/氮），其它组分比例的氘氮混合气可参考照执行
研制信息
起草单位:
中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八 研究所、中国质量协会
起草人:
殷越玲、贾宣东、李帅楠、李旭、陈琛、崔雯、张洁、赵赛迪