GB/T 16656.203-1997
废止
GB/T 37959-2019
现行
国家标准
GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
GB/T 37959-2019 Information model for containing process chamber IC equipment design
基本信息
标准编号:
GB/T 37959-2019
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子计算机应用
国际标准分类名称:
信息技术在工业中的应用
发布日期:
2019-08-30
实施日期:
2020-03-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国自动化系统与集成标准化技术委员会(SAC/TC 159)
页数:
18 页
适用范围
本标准规定了含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台信息模型，规定了搭建含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台的一般性要求。
本标准适用于含工艺腔室类集成电路装备的建模仿真设计软件。
研制信息
起草单位:
中车信息技术有限公司、清华大学、北京机械工业自动化研究所有限公司、中国石油规划总院
起草人:
顾明、程嘉、李丽、季林红、陈莉、曹自立、张颖、黎晓东、王海丹、王峰
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