DZ/T 0101.12-1994
现行
T/CI 512-2024
现行
团体标准
T/CI 512-2024 硅基厚金属膜电镀工艺技术规范
T/CI 512-2024 Silicon-based thick metal film electroplating process technology specification
价格:
$ 43.00
基本信息
标准编号:
T/CI 512-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
-
发布日期:
1970-01-01
实施日期:
1970-01-01
发布单位/组织:
中国国际科技促进会
适用范围
本文件规定了硅基厚金属电镀工艺的加工能力、保障条件、材料、安全与环境操作、检验等技术要求，确立了硅基厚金属电镀工艺加工的程序。 本文件适用于硅基MEMS制造技术中厚金属膜多层布线的电镀加工。