GB/T 3143-1982
现行
DB53/T 500-2013
废止
云南省地方标准
DB53/T 500-2013 多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法
DB53/T 500-2013 Determination of composition content of trichlorosilane for polycrystalline silicon by gas chromatography
价格:
$ 30
基本信息
标准编号:
DB53/T 500-2013
标准类型:
地方标准
标准状态:
废止
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
无机化工原料
国际标准分类名称:
化学分析
发布日期:
2013-08-01
实施日期:
2013-10-01
发布单位/组织:
云南省质量技术监督局
归口单位:
云南省质量技术监督局
适用范围
本标准规定了气相色谱法测定多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl 组分含量的方法。本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl含量的测定。测定范围: SiH2Cl2 ＞0.01%，SiCl4＞0.01%，HCl＞0.01%。
研制信息
起草单位:
昆明冶研新材料股份有限公司
起草人:
赵建为、张云晖、钱津旺、金波、亢若谷、马启坤、于晓艳、左世芳、陶明、杨红燕