GB/T 2625-1981
现行
T/CMES 39004-2024
现行
团体标准
T/CMES 39004-2024 半导体晶圆制造智能工厂物流调度数据通用规范
T/CMES 39004-2024 Semiconductor Wafer Manufacturing Smart Factory Logistics Scheduling Data Generic Specification
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CMES 39004-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
工业过程的测量和控制
发布日期:
2024-07-01
实施日期:
2024-08-01
归口单位:
中国机械工程学会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了半导体晶圆制造智能工厂集成电路制造过程中生产物流调度涉及到的相关数据通用规范，包括架构、生产资源要求、基础数据模型、状态数据模型和物流调度业务过程数据模型
研制信息
起草单位:
东华大学、上海应用技术大学、上海交通大学、深圳优艾智合机器人科技有 限公司、上海轩田智能科技股份有限公司、上扬软件（上海）有限公司、通富微电子股份有限公司、 洪启集成电路（珠海）有限公司
起草人:
张洁、吴立辉、周亚勤、张朋、秦威、陈达、边旭、陈远明、吕凌志、缪小勇、 张启华、吕佑龙、汪俊亮、郑小虎、丁司懿