GB/T 3163-1993
被代替
T/GVS 017-2024
现行
团体标准
T/GVS 017-2024 连续式光学磁控溅射镀膜设备
T/GVS 017-2024 Continuous optical magnetic-field sputtering coating system
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/GVS 017-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
机械
国际标准分类名称:
真空技术
发布日期:
2024-12-24
实施日期:
2024-12-24
归口单位:
广东省真空学会
适用范围
范围:本文件规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售; 主要技术内容:规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售
研制信息
起草单位:
广东省新兴激光等离子体技术研究院、等离子体装备科技（广州）有限公司、离子束（广州）装备科技有限公司、广州市尤特新材料有限公司
起草人:
朱昆、李彬、曹祯烨、曹健辉、刘嘉静、杨锐、郑铭浩、周志宏