GB 4962-1985
被代替
GB/T 31058-2014
现行
国家标准
GB/T 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅
GB/T 31058-2014 Gases for electronic industry—Silicon tetrafluoride
基本信息
标准编号:
GB/T 31058-2014
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2014-12-22
实施日期:
2015-07-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
页数:
6 页
适用范围
本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅。它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料，也是生产多晶硅的重要原料。分子式：SiF4。相对分子质量：104.0786128（按2009年国际原子相对质量）。
研制信息
起草单位:
核工业理化工程研究院华核新技术开发公司、佛山市华特气体有限公司、绿菱电子材料(天津)有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、贵州大学、西南化工研究设计院有限公司
起草人:
邓建平、李于教、傅铸红、汤有伦、崔学文、方华、唐安江、周鹏云
引用标准
GB l5258
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
气瓶安全监察规程(2000版)
危险化学品安全管理条例(2002版)
特种设备安全监察条例(2009版)
GB 190-1990 危险货物包装标志
GB 190-2009 危险货物包装标志
GB/T 3723-1999 工业用化学产品采样安全通则
GB/T 5099-1994 钢质无缝气瓶
GB/T 5099.1-2017 钢质无缝气瓶 第1部分：淬火后回火处理的抗拉强度小于1 100 MPa的钢瓶
GB/T 5099.3-2017 钢质无缝气瓶 第3部分：正火处理的钢瓶
GB/T 5099.4-2017 钢质无缝气瓶 第4部分：不锈钢无缝气瓶
GB 7144-1999 气瓶颜色标志
GB/T 7144-2016 气瓶颜色标志
GB 14194-1993 永久气体气瓶充装规定
GB/T 14194-2006 永久气体气瓶充装规定
GB/T 14194-2017 压缩气体气瓶充装规定
GB 16804-1997 气瓶警示标签
GB/T 16804-2011 气瓶警示标签
GB/T 26571-2011 特种气体储存期规范
GB/T 28727-2012 气体分析 硫化物的测定 火焰光度气相色谱法
GB/T 28727-2025 气体分析 气体中微量硫化合物含量的测定 火焰光度气相色谱法