GB/T 21795-2008
现行
T/CCGA 90004-2023
现行
团体标准
T/CCGA 90004-2023 泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法
T/CCGA 90004-2023 Test method for efficiency of decomposition removal of exhaust gas treatment equipment used in pan-semiconductor industry
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CCGA 90004-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
石油
国际标准分类名称:
污染、污染控制和保护
发布日期:
2023-12-18
实施日期:
2024-01-18
归口单位:
中国工业气体工业协会
适用范围
范围:本文件规定了泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法。 本文件适用于使用傅里叶变换红外光谱仪和便携式气体检测仪评估尾气处理设备的分解移除效率。其它 仪器可参考执行; 主要技术内容:本文件适用于使用傅里叶变换红外光谱仪和便携式气体检测仪评估尾气处理设备的分解移除效率。其它仪器可参考执行
研制信息
起草单位:
埃地沃兹贸易（上海）有限公司、上海市计量测试技术研究院、台积电（中国）有限公司、中国电子气体生产与利用百人会
起草人:
朱文心、熊艳玲、刘翔宇、高艳秋、魏王慧、夏威偉