GB/T 3047.6-1986
被代替
T/CASME 929-2023
现行
团体标准
T/CASME 929-2023 半导体设备精密结构组件
T/CASME 929-2023 Semiconductor equipment precision structure component
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CASME 929-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电工
国际标准分类名称:
电子设备用机械构件
发布日期:
2023-11-17
实施日期:
2023-11-25
归口单位:
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于半导体设备精密结构组件的生产、检验; 主要技术内容:本文件规定了半导体设备精密结构组件的基本要求、原材料要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存
研制信息
起草单位:
常州伟泰科技股份有限公司、大连理工江苏研究院有限公司、大连理工大学、常州大连理工大学智能装备研究院、常州机电职业技术学院、内蒙古自治区特种设备检验研究院赤峰分院
起草人:
张新联、林毅、李萍、杨会清、贾永涛、马长江、李明伟、邹灵浩、蔡福海、刘江、丁国林、麻青春