GB 4962-1985
被代替
GB/T 21287-2007
被代替
国家标准
GB/T 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮
GB/T 21287-2007 Gases for electronic industry—Nitrogen trifluoride
基本信息
标准编号:
GB/T 21287-2007
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2007-12-14
实施日期:
2008-07-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC 203/SC 1)
页数:
16 页
适用范围
本标准规定了瓶装电子工业用气体——三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。 本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。 分子式：NF3。 分子量：71.0019(按2001年国际相对原子量)
研制信息
起草单位:
湖北沙隆达天门农化有限责任公司、中国船舶重工集团公司第七一八研究所
起草人:
余启富、宋再卿、刘新明、戴龙侠、方治文、牛学坤、金美兰、任清贵、王少楠
被以下标准替代
引用标准
气瓶安全监察规程
危险化学品安全管理条例
特种设备安全监察条例
GB 190-1990 危险货物包装标志
GB 190-2009 危险货物包装标志
GB/T 3723-1999 工业用化学产品采样安全通则
GB/T 5099-1994 钢质无缝气瓶
GB/T 5099.1-2017 钢质无缝气瓶 第1部分：淬火后回火处理的抗拉强度小于1 100 MPa的钢瓶
GB/T 5099.3-2017 钢质无缝气瓶 第3部分：正火处理的钢瓶
GB/T 5099.4-2017 钢质无缝气瓶 第4部分：不锈钢无缝气瓶
GB/T 5832.1-2003 气体湿度的测定 第1部分：电解法
GB/T 5832.1-2016 气体分析 微量水分的测定 第1部分：电解法
GB/T 6681-2003 气体化工产品采样通则
GB 7144-1999 气瓶颜色标志
GB/T 7144-2016 气瓶颜色标志
GB 14194-1993 永久气体气瓶充装规定
GB/T 14194-2006 永久气体气瓶充装规定
GB/T 14194-2017 压缩气体气瓶充装规定