GB/T 17518-1998
被代替
T/CNIA 0062-2020
现行
团体标准
T/CNIA 0062-2020 电子工业用高纯氢氟酸
T/CNIA 0062-2020 Highly pure hydrofluoric acid for electronic industry
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CNIA 0062-2020
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
有色金属矿
国际标准分类名称:
无机化学综合
发布日期:
2020-05-27
实施日期:
2020-08-01
归口单位:
中国有色金属工业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了电子工业用高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书、订货单（或合同）内容及安全。本标准适用于电子工业用高纯氢氟酸（以下简称高纯氢氟酸）。该产品主要应用于电子级多晶硅、液晶显示器、集成电路和超大规模集成电路用硅片、芯片的清洗、蚀刻等
研制信息
起草单位:
青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、苏州汉谱埃文材料科技有限公司、中巨芯科技有限公司、多氟多化工股份有限公司、有研半导体材料有限公司、苏州晶瑞化学股份有限公司
起草人:
杨晓青、刘刚、岳峥、薛心禄、秦榕、白圣玉、李军、张旸旸、孙燕、张全伟