GB/T 9079-1988
废止
T/CASME 618-2023
现行
团体标准
T/CASME 618-2023 分立器件生产过程污染物排放规范
T/CASME 618-2023 Pollutant Emission Standards for Semiconductor Device Manufacturing Processes
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CASME 618-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
环境保护
国际标准分类名称:
固定源排放限值
发布日期:
2023-08-11
实施日期:
2023-08-20
归口单位:
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于分立器件生产过程污染物排放管理; 主要技术内容:本文件规定了分立器件生产过程污染物排放的术语和定义、总体要求、污染物产生、污染物排放控制、废物处理与回收利用、监督与报告、环保管理及培训与宣传等内容
研制信息
起草单位:
杭州百芯半导体有限公司、杭州百隆电子有限公司、嵊州善斌物联网科技股份有限公司
起草人:
周瑜、夏惠江、王海、寿齐吉、方明杰、何恩平