GB/T 13840-1992
废止
YS/T 1124-2016
现行
行业标准-有色金属
YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法
YS/T 1124-2016 Testing method on pass through flux of magnetic sputtering target
基本信息
标准编号:
YS/T 1124-2016
标准类型:
行业标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
金属物理性能试验方法
国际标准分类名称:
其他有色金属及其合金
发布日期:
2016-07-11
实施日期:
2017-01-01
发布单位/组织:
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位:
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
页数:
5 页
适用范围
本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。
本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。
研制信息
起草单位:
有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院
起草人:
罗俊锋、万小勇、向磊、丁照崇、李勇军、何金江、徐国进、夏乾坤、刘晓、王越