GB/T 14666-1993
被代替
T/CIET 1177-2025
现行
团体标准
T/CIET 1177-2025 微波等离子体化学气相沉积系统性能要求及测试方法
T/CIET 1177-2025 Microwave plasma chemical vapor deposition system performance requirements and testing methods
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CIET 1177-2025
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
分析化学综合
发布日期:
2025-04-16
实施日期:
2025-04-16
归口单位:
中国国际经济技术合作促进会
适用范围
范围:本文件规定了微波等离子体化学气相沉积系统的系统构成、一般要求、性能要求和测试方法。 本文件适用于微波等离子体化学气相沉积系统; 主要技术内容:本文件规定了微波等离子体化学气相沉积系统的系统构成、一般要求、性能要求和测试方法。本文件适用于微波等离子体化学气相沉积系统
研制信息
起草单位:
通标中研标准化技术研究院（北京）有限公司、成都沃特塞恩电子技术有限公司、西安交通大学、欣源科技（北京）有限公司、途邦认证有限公司
起草人:
吴永利、季宇、王宏兴、王少鹏、刘文科、王艳丰、张龙辉、刘岩、汪贤峰、贾国蕊、徐敬铭、包瑾