GB/T 15678-1995
被代替
T/CIET 1296-2025
现行
团体标准
T/CIET 1296-2025 集成电路用高纯钽靶材
T/CIET 1296-2025 High-purity tantalum target for integrated circuits
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CIET 1296-2025
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
其他有色金属产品
发布日期:
2025-05-14
实施日期:
2025-05-14
归口单位:
中国国际经济技术合作促进会
适用范围
范围:本文件规定了集成电路用高纯钽靶材的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存。 本文件适用于集成电路制造过程中物理气相沉积（PVD）工艺用的高纯钽靶材; 主要技术内容:本文件规定了集成电路用高纯钽靶材的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存。本文件适用于集成电路制造过程中物理气相沉积（PVD）工艺用的高纯钽靶材
研制信息
起草单位:
通标中研标准化技术研究院（北京）有限公司、宝鸡市亨信稀有金属有限公司、稀美资源（贵州）科技有限公司、炎陵县今成钽铌有限公司、途邦认证有限公司
起草人:
刘岩、吴永利、汪贤峰、李泽峰、李玉儒、陈虎兵、蔡海成、徐敬铭、包瑾、刘世纪