GB/T 3143-1982
现行
GB/T 29557-2013
现行
国家标准
GB/T 29557-2013 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量
GB/T 29557-2013 Surface chemical analysis—Depth Profiling—Measurment of sputtered depth
基本信息
标准编号:
GB/T 29557-2013
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
基础标准与通用方法
国际标准分类名称:
化学分析
发布日期:
2013-07-19
实施日期:
2014-03-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38)
页数:
15 页
适用范围
本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。
本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术，通常溅射深度可达几微米。
研制信息
起草单位:
中山大学、浙江大学、中国科学院大连化学物理研究所
起草人:
陈建、张训生、谢方艳、龚力、张卫红、盛世善
采用标准
ISO/TR 15969:2001