GB 4962-1985
被代替
GB/T 37030-2018
现行
国家标准
GB/T 37030-2018 电子级三甲基铟
GB/T 37030-2018 Electronic grade trimethylindium
基本信息
标准编号:
GB/T 37030-2018
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2018-12-28
实施日期:
2019-04-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
页数:
10 页
适用范围
本标准规定了三甲基铟的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全。
本标准适用于铟镁合金法、三氯化铟法、格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铟。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。
分子式：C3H9In
相对分子质量：159.92(按2013年国际相对原子质量计算)
研制信息
起草单位:
江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院
起草人:
陈化冰、孙明璐、王香、曹可慰
引用标准
GB 190-1990 危险货物包装标志
GB 190-2009 危险货物包装标志
GB/T 3723-1999 工业用化学产品采样安全通则
GB/T 6679-2003 固体化工产品采样通则
GB/T 11446.1-1997 电子级水
GB/T 11446.1-2013 电子级水
GB 12463-1990 危险货物运输包装通用技术条件
GB 12463-2009 危险货物运输包装通用技术条件
GB 15258-1999 化学品安全标签编写规定
GB 15258-2009 化学品安全标签编写规定
GB 15603-1995 常用化学危险品贮存通则
GB 15603-2022 危险化学品仓库储存通则
GB 50073-2013 洁净厂房设计规范(附条文说明)