GB/T 14293-1998
现行
T/SZMES 3-2021
现行
团体标准
T/SZMES 3-2021 薄膜应力测定 基片弯曲法
T/SZMES 3-2021 Thickness stress measurement using bending method
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/SZMES 3-2021
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
表面处理和镀涂综合
发布日期:
2021-05-28
实施日期:
2021-06-01
归口单位:
深圳市机械工程学会
适用范围
范围:本文件规定了基于基片弯曲法的薄膜应力测定的术语和定义、测量原理、测量仪器、试样要求、测量条件、参数的确定、测量、薄膜应力计算及试验报告。 本文件适用于基于基片弯曲法的薄膜应力测定; 主要技术内容:本文件规定了一种基于基片弯曲法的薄膜应力测定的术语和定义，包括：基片、薄膜、试样、厚度、镀膜、物理气相沉积技术、曲率半径。测量原理：测量基片在单面镀膜前后的曲率半径，基片初始曲率半径和基片（镀膜面）曲率半径，利用斯东尼（Stoney)公式，计算得出薄膜应力
研制信息
起草单位:
深圳职业技术学院、天津职业技术师范大学、深圳市速普仪器有限公司、深圳大学、深圳市机械工程学会、深圳领威科技有限公司、广东省标准化研究院
起草人:
赵升升、廖强华、王红英、王铁钢、刘艳梅、张小波、杜建铭、章卫红、蔡恒志、梁舒洁、顾维鑫、汤悦荣