GB/T 3163-1993
被代替
GB/T 11164-2011
现行
国家标准
GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件
GB/T 11164-2011 Vacuum coating plant generic specification
基本信息
标准编号:
GB/T 11164-2011
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
真空技术与设备
国际标准分类名称:
真空技术
发布日期:
2011-11-21
实施日期:
2012-06-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)
页数:
9 页
适用范围
本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。
本标准适用于压力在10-5Pa ～10-3Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备（以下简称设备）。
研制信息
起草单位:
北京北仪创新真空技术有限责任公司
起草人:
陈月增、谢钧荣、范立群、孙凯、温发兰、靳毅、刘强、惠进德、王学智
替代以下标准
引用标准
GB/T 191-2008 包装储运图示标志
GB/T 3163-2007 真空技术 术语
GB 5226.1-2008 机械电气安全 机械电气设备 第1部分：通用技术条件
GB/T 6070-2007 真空技术 法兰尺寸
GB/T 13306-2011 标牌
GB/T 13384-2008 机电产品包装通用技术条件
GB/T 15945-2008 电能质量 电力系统频率偏差
GB/T 18209.1-2010 机械电气安全 指示、标志和操作 第1部分：关于视觉、听觉和触觉信号的要求
JB/T 7673-2011 真空技术 真空设备型号编制方法
JB/T 7673-1995 真空设备型号编制方法