GB/T 3163-1993
被代替
T/GVS 010-2022
现行
团体标准
T/GVS 010-2022 真空卷绕镀膜设备通用技术要求
T/GVS 010-2022 Universal technical requirements for vacuum spinning coating equipment
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/GVS 010-2022
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
机械
国际标准分类名称:
真空技术
发布日期:
2022-09-23
实施日期:
2022-09-23
归口单位:
广东省真空学会
适用范围
范围:本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（CVD）卷绕镀膜设备; 主要技术内容:规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（CVD）卷绕镀膜设备
研制信息
起草单位:
广东腾胜科技创新有限公司、中山凯旋真科技股份有限公司、广东生波尔光电技术有限公司
起草人:
朱刚毅、朱刚劲、杨容军、陈家发、吴洽、李晓刚、姜翠宁、徐从高