GB/T 4771-1984
被代替
GB/T 34177-2017
现行
国家标准
GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆
GB/T 34177-2017 Quartz glass wafer for lithography
基本信息
标准编号:
GB/T 34177-2017
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
石英玻璃
国际标准分类名称:
玻璃产品
发布日期:
2017-09-07
实施日期:
2018-08-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC 447)
页数:
11 页
适用范围
本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆（以下简称石英玻璃晶圆)的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二极管（LED)等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。
研制信息
起草单位:
中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、长沙韶光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心
起草人:
吴洁、王京侠、王友军、李弋舟、花宁、刘焕敏、肖颂华、聂兰舰、张浩运、杨晓会、杨学东、孔敏、张应语