GB/T 3143-1982
现行
GB/T 47073-2026
现行
国家标准
GB/T 47073-2026 表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析
GB/T 47073-2026 Surface chemical analysis—Depth profiling—Non-destructivedepth profiling of nanoscale heavy metal oxide thin films onSi substrates with medium energy ion scattering
价格:
$ 65.00
基本信息
标准编号:
GB/T 47073-2026
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
基础标准与通用方法
国际标准分类名称:
化学分析
发布日期:
2026-01-28
实施日期:
2026-08-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)
页数:
36 页
适用范围
本文件描述了使用中能离子散射术（MEIS）对硅基底上无定形重金属氧化物超薄膜进行定量深度剖析的方法。
研制信息
起草单位:
中石化石油化工科学研究院有限公司、季华实验室、中国计量科学研究院、河北工程大学、国家纳米科学中心
起草人:
邱丽美、范燕、王海、侯俊先、武春霞、忻睦迪、徐鹏
引用标准
ISO 18115-1:2013
ISO 18115-2:2013
采用标准
ISO 23170:2022