GB/T 7288.1-1987
废止
GB/T 27760-2011
现行
国家标准
GB/T 27760-2011 利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
GB/T 27760-2011 Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using Si(111) monatomic steps
基本信息
标准编号:
GB/T 27760-2011
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
基础标准与通用方法
国际标准分类名称:
试验条件和规程综合
发布日期:
2011-12-30
实施日期:
2012-05-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
页数:
13 页
适用范围
本标准规定了利用Si（111）晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。
本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜，并且其z向放大倍率达到最大量级，即z向位移在纳米和亚纳米范围内，这是原子力显微镜用于检测半导体表面，光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。
本标准并未指出所有可能的安全问题，在应用本标准之前，使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。
研制信息
起草单位:
国家纳米科学中心
起草人:
朱晓阳、杨延莲、贺蒙、高洁
引用标准
ISO 25178-6:2010
ISO/IEC Guide 98-3:2008
ISO/TS 21748:2004