GB/T 1957-1981
被代替
GB/T 39516-2020
现行
国家标准
GB/T 39516-2020 微纳米标准样板(几何量)
GB/T 39516-2020 Micro nano standard samples (geometric)
基本信息
标准编号:
GB/T 39516-2020
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
量具与量仪
国际标准分类名称:
测量仪器仪表
发布日期:
2020-11-19
实施日期:
2021-06-01
发布单位/组织:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位:
全国量具量仪标准化技术委员会(SAC/TC 132)
页数:
20 页
适用范围
本标准规定了微纳米标准样板（几何量）的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。
本标准适用于线间隔为0.05 μm~10 μm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01 μm~100 μm的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2 nm~1 000 nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25 nm~1 000 nm的纳米线宽标准样板。
研制信息
起草单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、广西壮族自治区计量检测研究院、中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、中国计量大学、珠海市怡信测量科技有限公司
起草人:
李锁印、付兴昌、梁法国、韩志国、赵琳、冯亚南、许晓青、张晓东、姜志刚、许刚、苏冀雄、张恒、雷李华、赵军、张松涛、蔡潇雨、傅云霞