GB/T 10972-2002
废止
GB/T 23414-2009
现行
国家标准
GB/T 23414-2009 微束分析 扫描电子显微术 术语
GB/T 23414-2009 Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Vocabulary
基本信息
标准编号:
GB/T 23414-2009
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子光学与其他物理光学仪器
国际标准分类名称:
成像技术 (词汇)
发布日期:
2009-04-01
实施日期:
2009-12-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微束分析标准化技术委员会
页数:
31 页
适用范围
本标准定义了扫描电子显微术（SEM）实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语，也包括已经在ISO 23833中定义的术语。
本标准适用于所有有关SEM实践的标准化文件。另外，本标准的某些术语定义，也适用于相关领域的文件〔例如：电子探针显微分析（EPMA）、分析电子显微术（AEM）、能谱法（EDX）等〕。
研制信息
起草单位:
中国科学院上海硅酸盐研究所
起草人:
李香庭、曾毅
采用标准
ISO 22493:2008