GB 6738-1986
废止
GB/T 31470-2015
现行
国家标准
GB/T 31470-2015 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
GB/T 31470-2015 Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers
基本信息
标准编号:
GB/T 31470-2015
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
综合测试系统
国际标准分类名称:
电和磁量值的测量
发布日期:
2015-05-15
实施日期:
2016-01-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
页数:
10 页
适用范围
本标准规定了俄歇电子能谱和部分类型的X射线光电子能谱检测信号对应样品区域的确定方法。本标准适用于俄歇电子能谱仪和具有以下条件的X射线光电子能谱：入射X光束激发的样品区域大于分析器可检测到的样品区域；光电子从样品到分析器入口的过程中经过自由空间；装配有辅助电子枪可以产生一束可变能量的电子束照射到样品上。
研制信息
起草单位:
信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司
起草人:
李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔
引用标准
GB/T 22461-2008 表面化学分析 词汇
SJ/T 10458-1993