GB/T 8446.2-2022
现行
T/CEPEA 0102-2023
现行
团体标准
T/CEPEA 0102-2023 化合物半导体器件刻蚀工艺静电卡盘
T/CEPEA 0102-2023 Electrostatic chuck for etching process of compound semiconductor devices
价格:
$ 31.00
基本信息
标准编号:
T/CEPEA 0102-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
机电元件综合
发布日期:
2024-03-01
实施日期:
2024-03-15
发布单位/组织:
中国电子专用设备工业协会
归口单位:
中国电子专用设备工业协会
适用范围
本文件界定了化合物半导体器件刻蚀工艺静电卡盘（以下简称静电卡盘）的术语和定义，规定了其结构和分类、工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于刻蚀碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）等化合物半导体材料以及二氧化硅（SiO2）、蓝宝石、玻璃等电子迁移率较低材料所用的静电卡盘。
研制信息
起草单位:
无锡邑文微电子科技股份有限公司、广东海拓创新技术有限公司、浏阳泰科天润半导体科技有限公司
起草人:
孙文彬、高阔、刘斌、施广彦