GB/T 5295-1985
被代替
T/ZOIA 30001-2022
现行
团体标准
T/ZOIA 30001-2022 MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法
T/ZOIA 30001-2022 MEMS high aspect ratio structure depth measurement method: Spectral reflection method
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/ZOIA 30001-2022
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
电子元器件与信息技术
国际标准分类名称:
光电子学、激光设备
发布日期:
2022-12-29
实施日期:
2022-12-29
归口单位:
中关村光电产业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了MEMS高深宽比结构深度光谱反射测量的测量原理、测量设备、测量要求、测量方法、测量结果的不确定度评定、合成相对不确定度评定、扩展相对不确定度评定以及测试报告等内容。本标准适用于多种半导体材料上MEMS高深宽比刻蚀结构的深度测量。刻蚀结构包括但不限于单体和阵列的沟槽、柱和孔等
研制信息
起草单位:
中国科学院微电子研究所、中关村光电产业协会、天津大学、北京绿色制造产业联盟、凌云光技术股份有限公司、北京大学、中国计量科学研究院、北京总部企业协会
起草人:
陈晓梅、霍树春、卢永红、胡春光、杨艺、曲扬、杨芳、施玉书、马晓雪、谷焱绯