GB/T 4855-1984
废止
GB/T 28276-2012
现行
国家标准
GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
GB/T 28276-2012 Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for dissolved wafer process
基本信息
标准编号:
GB/T 28276-2012
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
微电路
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
2012-05-11
实施日期:
2012-12-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
页数:
14 页
适用范围
本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。
本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。
研制信息
起草单位:
中国电子科技集团第十三研究所、中机生产力促进中心、北京大学、中国科学院上海微系统与信息技术研究所
起草人:
崔波、罗蓉、刘伟、张大成、熊斌、陈海蓉