GB/T 4855-1984
废止
GB/T 26111-2010
被代替
国家标准
GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语
GB/T 26111-2010 Micro-electromechanical system technology—Terms
基本信息
标准编号:
GB/T 26111-2010
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
微电路
国际标准分类名称:
集成电路、微电子学
发布日期:
2011-01-10
实施日期:
2011-10-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
页数:
36 页
适用范围
本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。
本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
研制信息
起草单位:
中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学
起草人:
丁红宇、刘伟、张苹、崔波、杨拥军、叶雄英、陈迪、石云波