GB/T 24341-2009
Active
T/XAI 16-2023
Active
Group standards
T/XAI 16-2023 Mask design specification for overlay film baseplate
T/XAI 16-2023 Mask design specification for overlay film baseplate
Basic Information
Standard Code:
T/XAI 16-2023
Standard Type:
Group standards
Standard Status:
Active
is_force_gb:
no
CCS Name:
Electronic components
ICS Name:
Electrical and electronic engineering drawing
Publish Date:
2023-08-01
Implement Date:
2023-08-01
Technical Committee:
徐州市发明协会
Scope
范围:本文件规定了覆晶薄膜基板掩膜版图纸构成、曝光对位、检查偏位、图纸扩缩、刻印文字，给出了证实方法等。 本文件适用于覆晶薄膜基板掩膜版图纸的设计; 主要技术内容:1范围、2规范性引用文件、3术语和定义、4设计要求、5证实方法
Development Information
Drafting Units:
江苏上达半导体有限公司、北京集创北方有限公司、武汉大学、江苏华商企业管理咨询服务有限公司
Drafting Persons:
韩少华、陆文、王健、孙彬、刘明寒、戚胜利、孙飞、叶斌、黄梦晴、王康、高雷、李辉、孟庆才