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GB/T 29506-2013 现行
GB/T 29506-2013 300 mm polished monocrystalline silicon wafers
简介
本标准规定了直径300 mm、p型、100晶向、电阻率0.5 Ω·cm～20 Ω·cm规格的硅单晶抛光片的术语和定义、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。
本标准适用于直径300 mm直拉单晶磨削片经双面抛光制备的硅单晶抛光片，产品主要用于满足集成电路IC用线宽90 nm技术需求的衬底片。
通用商品信息
| 委员会 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 29506-2013 |
| CCS | 元素半导体材料 |
| ICS | 半导体材料 |
| 实施日期 | 2014-02-01 |
价格
$ 50
小计
$ 50
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 50