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GB/T 11164-2011 现行
GB/T 11164-2011 Vacuum coating plant generic specification
简介
本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。
本标准适用于压力在10-5Pa ～10-3Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备（以下简称设备）。
通用商品信息
| 委员会 | 全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18) |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 11164-2011 |
| CCS | 真空技术与设备 |
| ICS | 真空技术 |
| 实施日期 | 2012-06-01 |
价格
$ 50
小计
$ 50
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 50