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T/CASAS 025-2023 现行
T/CASAS 025-2023 8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸
简介
本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸。 本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片。 注： 碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底。 本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸。 本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片。 注： 碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底
通用商品信息
| 委员会 | 北京第三代半导体产业技术创新战略联盟 |
|---|---|
| 文献类型 | 团体标准 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CASAS 025-2023 |
| 实施日期 | 2023-06-19 |
价格
$ 20.00
小计
$ 20.00
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 20.00