DZ/T 0101.12-1994
现行
T/CASAS 025-2023
现行
团体标准
T/CASAS 025-2023 8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸
T/CASAS 025-2023 8-inch silicon carbide substrate reference mark and dimensions
价格:
$ 20.00
基本信息
标准编号:
T/CASAS 025-2023
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
-
发布日期:
2023-06-19
实施日期:
2023-06-19
归口单位:
北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
页数:
8 页
适用范围
本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸。 本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片。 注： 碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底。 本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸。 本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片。 注： 碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底
研制信息
起草单位:
山东大学、广州南砂晶圆半导体技术有限公司、瀚天天成电子科技(厦门)有限公司、广东天域半导体股份有限公司、绍兴中芯集成电路制造股份有限公司、泰科天润半导体科技（北京）有限公司、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
起草人:
崔潆心、杨祥龙、陈秀芳、徐现刚、来玲玲、于国建、冯淦、丁雄杰、潘国卫、秋琪、徐瑞鹏