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GB/T 16942-2009
GB/T 16942-2009 电子工业用气体 氢
简介
本标准规定了电子工业用氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。
通用商品信息
| 委员会 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会 |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 被代替 |
| 标准编号 | GB/T 16942-2009 |
| CCS | 工业气体与化学气体 |
| ICS | 工业气体 |
| 实施日期 | 2010-05-01 |
价格
$ 29.00
小计
$ 29.00
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 29.00