GB 4962-1985
被代替
GB/T 16942-2009
被代替
国家标准
GB/T 16942-2009 电子工业用气体 氢
GB/T 16942-2009 Gas for electronic industry—Hydrogen
基本信息
标准编号:
GB/T 16942-2009
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2009-10-30
实施日期:
2010-05-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会
页数:
12 页
适用范围
本标准规定了电子工业用氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。
研制信息
起草单位:
中国计量科学研究院、西南化工研究设计院
起草人:
周泽义、周鹏云
替代以下标准
被以下标准替代
引用标准
GB 190-2009 危险货物包装标志
气瓶安全监察规程
压力容器安全技术监察规程
压力管道安全管理与监察规定
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GB/T 3723-1999 工业用化学产品采样安全通则
GB 4962-1985 氢气使用安全技术规程
GB 4962-2008 氢气使用安全技术规程
GB/T 5099-1994 钢质无缝气瓶
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GB/T 6285-2003 气体中微量氧的测定 电化学法
GB/T 6285-2016 气体中微量氧的测定 电化学法
GB 7144-1999 气瓶颜色标志
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GB/T 8984-2008 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法
GB/T 8984.1-1997 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 第1部分：气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定 气相色谱法
GB/T 8984.2-1997 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 第2部分：气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物总含量的测定 气相色谱法
GB/T 8984.3-1997 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 第3部分：气体中总烃的测定 火焰离子化法
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GB/T 14194-2006 永久气体气瓶充装规定
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GB/T 8984-2025 气体分析 气体中微量一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物含量的测定 火焰离子化气相色谱法
GB/T 3634.1-2025 氢气 第1部分：工业氢