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T/CPIA 0065-2024 现行
T/CPIA 0065-2024 异质结电池用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备
简介
本文件规定了本征薄膜异质结电池用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备（以下简称“PECVD设备”）的术语和定义、工作环境、设备要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。 本文件适用于本征薄膜异质结电池用PECVD设备。产品主要用于沉积多种薄膜材料，例如非晶硅、微晶硅、二氧化硅、氮化硅薄膜等本征薄膜材料等。
通用商品信息
| 委员会 | 中国光伏行业协会 |
|---|---|
| 文献类型 | 团体标准 |
| 发布单位 | 中国光伏行业协会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | T/CPIA 0065-2024 |
| ICS | 太阳能工程 |
| 实施日期 | 2024-03-15 |
价格
$ 38.00
小计
$ 38.00
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 38.00