GB/T 6492-1986
被代替
T/CPIA 0065-2024
现行
团体标准
T/CPIA 0065-2024 异质结电池用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备
T/CPIA 0065-2024 Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) equipment used for Heterojunction solar cell fabrication
价格:
$ 38.00
基本信息
标准编号:
T/CPIA 0065-2024
标准类型:
团体标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
-
国际标准分类名称:
太阳能工程
发布日期:
2024-03-10
实施日期:
2024-03-15
发布单位/组织:
中国光伏行业协会
归口单位:
中国光伏行业协会
适用范围
本文件规定了本征薄膜异质结电池用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备（以下简称“PECVD设备”）的术语和定义、工作环境、设备要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。 本文件适用于本征薄膜异质结电池用PECVD设备。产品主要用于沉积多种薄膜材料，例如非晶硅、微晶硅、二氧化硅、氮化硅薄膜等本征薄膜材料等。
研制信息
起草单位:
中国电子技术标准化研究院、理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、常州捷佳创精密机械有限公司、无锡帝科电子材料股份有限公司、杭州福斯特应用材料股份有限公司、江苏乾景睿科新能源有限公司、浙江润海新能源有限公司、江苏爱康能源研究院有限公司
起草人:
王赶强、王慧慧、庄天奇、马哲国、卢俊雄、吴易龙、江伟、朱海剑、张洪旺、周光大、朱晨、刘松民、周春华、谈剑豪