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GB/T 17874-2010
GB/T 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼
简介
本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
分子式：BCl3。
相对分子质量：117.1691(按2007年国际相对原子质量计算)。
通用商品信息
| 委员会 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1) |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 被代替 |
| 标准编号 | GB/T 17874-2010 |
| CCS | 工业气体与化学气体 |
| ICS | 工业气体 |
| 实施日期 | 2011-05-01 |
价格
$ 29.00
小计
$ 29.00
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 29.00