GB 4962-1985
被代替
GB/T 17874-2010
被代替
国家标准
GB/T 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼
GB/T 17874-2010 Gases for electronic industry-Boron trichloride
基本信息
标准编号:
GB/T 17874-2010
标准类型:
国家级标准
标准状态:
被代替
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业气体与化学气体
国际标准分类名称:
工业气体
发布日期:
2011-01-14
实施日期:
2011-05-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)
页数:
7 页
适用范围
本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
分子式：BCl3。
相对分子质量：117.1691(按2007年国际相对原子质量计算)。
研制信息
起草单位:
西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院
起草人:
孙福楠、方华、庄鸿涛、周鹏云
替代以下标准
被以下标准替代
引用标准
《气瓶安全监察规程》(国家质量监督检验检疫总局发布
2000年)
GB 190-1990 危险货物包装标志
GB 190-2009 危险货物包装标志
GB/T 3723-1999 工业用化学产品采样安全通则
GB/T 5099-1994 钢质无缝气瓶
GB/T 5099.1-2017 钢质无缝气瓶 第1部分：淬火后回火处理的抗拉强度小于1 100 MPa的钢瓶
GB/T 5099.3-2017 钢质无缝气瓶 第3部分：正火处理的钢瓶
GB/T 5099.4-2017 钢质无缝气瓶 第4部分：不锈钢无缝气瓶
GB 7144-1999 气瓶颜色标志
GB/T 7144-2016 气瓶颜色标志
GB/T 8984-2008 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法
GB/T 8984.1-1997 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 第1部分：气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定 气相色谱法
GB/T 8984.2-1997 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 第2部分：气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物总含量的测定 气相色谱法
GB/T 8984.3-1997 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 第3部分：气体中总烃的测定 火焰离子化法
GB 14193-1993 液化气体气瓶充装规定
GB/T 14193-2009 液化气体气瓶充装规定
GB/T 26571-2011 特种气体储存期规范
GB/T 14193.1-2025 液化气体气瓶充装规定 第1部分：工业气瓶
GB/T 8984-2025 气体分析 气体中微量一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物含量的测定 火焰离子化气相色谱法