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GB/T 33826-2017 现行
GB/T 33826-2017 玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法
简介
本标准规定了用触针式轮廓仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的原理、仪器要求、试验环境、要求、步骤及测试报告等。本标准适用于玻璃衬底上厚度在10 nm～1 000 nm范围内的纳米薄膜厚度测量，且薄膜与衬底之间存在或可刻蚀出台阶。其他硬质平面衬底可参考本标准执行。
通用商品信息
| 委员会 | 全国纳米技术标准化技术委员会纳米材料分技术委员会(SAC/TC 279/SC 1) |
|---|---|
| 文献类型 | 国家标准 |
| 发布单位 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 标准状态 | 现行 |
| 标准编号 | GB/T 33826-2017 |
| CCS | 工业技术玻璃 |
| ICS | 有关分析化学的其他标准 |
| 实施日期 | 2017-12-01 |
价格
$ 36.00
小计
$ 36.00
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 36.00