MT/T 707-1997
现行
GB/T 33826-2017
现行
国家标准
GB/T 33826-2017 玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法
GB/T 33826-2017 Measurement of nanofilm thickness on glass substrate —Profilometric method
基本信息
标准编号:
GB/T 33826-2017
标准类型:
国家级标准
标准状态:
现行
is_force_gb:
no
中国标准分类名称:
工业技术玻璃
国际标准分类名称:
有关分析化学的其他标准
发布日期:
2017-05-31
实施日期:
2017-12-01
发布单位/组织:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位:
全国纳米技术标准化技术委员会纳米材料分技术委员会(SAC/TC 279/SC 1)
页数:
14 页
适用范围
本标准规定了用触针式轮廓仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的原理、仪器要求、试验环境、要求、步骤及测试报告等。本标准适用于玻璃衬底上厚度在10 nm～1 000 nm范围内的纳米薄膜厚度测量，且薄膜与衬底之间存在或可刻蚀出台阶。其他硬质平面衬底可参考本标准执行。
研制信息
起草单位:
中国建筑材料科学研究总院、漳州旗滨玻璃有限公司、宣城晶瑞新材料有限公司、冶金工业信息标准研究院
起草人:
孟政、刘静、候英兰、徐勇、戴石锋、汪洪、梁慧超、张继军、张庆华、代铮、张卫星、赵晋武、郎岩梅