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YS/T 987-2014
YS/T 987-2014 Test method for measuring carbon containing compound in chlorosilane—Determination of methyldichlorosilane
简介
本标准规定了氯硅烷中碳杂质的测定方法，主要包括三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。
本标准适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。三氯氢硅、四氯化硅中甲基二氯氢硅的检测范围均为0.000 01%～1.00%。
通用商品信息
| 委员会 | 全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
|---|---|
| 文献类型 | 行业标准-有色金属 |
| 发布单位 | 中华人民共和国工业和信息化部 |
| 标准状态 | 被代替 |
| 标准编号 | YS/T 987-2014 |
| CCS | 半金属及半导体材料分析方法 |
| ICS | 金属材料化学分析 |
| 实施日期 | 2015-04-01 |
价格
$ 27
小计
$ 27
税费
$ 0.00
订单总额（含税）
$ 27